Máy dò khí HELIUM di động UL3000 FAB ULTRA
Model: UL3000 FAB ULTRA
Hãng sản xuất: INFICON
– Máy dò khí HELIUM di động UL3000 FAB ULTRA sử dụng công nghệ cảm biến ULTRATEST ™
– Được thiết kế đặc biệt cho nhu cầu kiểm tra rò rỉ trong các ứng dụng bán dẫn.
– Nó có tính linh hoạt, tính di động, khởi động nhanh, độ nhạy cao, kết quả kiểm tra nhanh và chính xác và độ tin cậy.
Ưu điểm:
– Thời gian bơm xuống nhanh hơn do tốc độ bơm không khí cao hơn.
– Bắt đầu kiểm tra rò rỉ sớm hơn vì phần mềm HYDRO.S loại bỏ nền hơi nước, giúp bạn có thể nhanh chóng đạt được các dải đo nhạy cảm.
– UL3000 Fab ULTRA cung cấp khả năng đánh hơi được cải thiện bằng cách sử dụng dòng thiết bị đánh hơi SL3000 có chiều dài lên đến 10 m.
– SL3000 có một cổng kết nối riêng, do đó không cần kết nối với đầu vào chân không.
– Chi phí sở hữu thấp hơn
Tính năng:
– Hệ thống chân không được cải tiến cho phép phát hiện rò rỉ bắt đầu từ áp suất khí quyển.
– Hệ thống khối phổ chắc chắn đảm bảo thời gian hoạt động lâu dài và chi phí bảo trì thấp.
– Màn hình cảm ứng mới hiển thị kết quả kiểm tra và thông tin trạng thái từ khoảng cách xa
– Hoạt động dễ dàng thông qua cấu trúc menu hướng dẫn người dùng, ngay cả đối với những người vận hành thiếu kinh nghiệm.
– Máy dò Helium di động UL3000 Fab (ULTRA) điều khiển thông qua điện thoại thông minh hoặc máy tính bảng – mà không cần phần mềm hoặc ứng dụng đặc biệt.
– Lưu trữ kết quả thử nghiệm thông qua nút nhấn có thể được chuyển sang phương tiện lưu trữ khác để phân tích thêm.
– Trọng tâm thấp, bánh xe lớn, tay cầm được thiết kế công thái học và vỏ mỏng cho phép UL3000 Fab (ULTRA) di động tốt ngay cả trong không gian chật hẹp.
– Tiết kiệm thời gian với thuật toán I·CAL cho phép đo nhanh trong phạm vi 10-9 đến 10-12 mbar · l / s
– Kiểm tra rò rỉ hiệu quả nhất bằng cách sử dụng I · ZERO 2.0 với chức năng thông minh được cải tiến giúp triệt tiêu nền nhanh trong khi vẫn duy trì độ nhạy đo cao
– Giảm thiểu nỗ lực kiểm tra rò rỉ thông qua phản hồi nhanh chóng
– Tiết kiệm thời gian nhờ khả năng cơ động dễ dàng nhờ thiết kế mỏng
Ứng dụng:
– Fabs bán dẫn
– Sản xuất màn hình phẳng
– Chế tạo pin mặt trời
– Ứng dụng & lớp phủ chân không nói chung
THÔNG SỐ KỸ THUẬT:
– Tốc độ rò rỉ tối thiểu có thể phát hiện: < 5 x 10-12 mbar•L/s
– Thời gian phản hồi: < 1 s
– Thời gian tới khi sẵn sàng hoạt động: < 3 s
– Cổng kiểm tra: DN 25 KF
– Giao tiếp: 2 x USB, Ethernet / LAN
– Điện áp: 100 to 240 V 50/60 Hz (AC)
– Kích thước: 1050 x 472 x 987 mm
– Trọng lượng: 118 kg
